幾種常見混合氣的用途

（1）激光混合氣：

常見的激光混合氣有氦氖激光混合氣、二氧化碳激光混合氣、氪氟激光混合氣、密封束激光混合氣和準(zhǔn)分子激光混合氣。

（2）標(biāo)準(zhǔn)校正氣體：

標(biāo)準(zhǔn)校正氣體的應(yīng)用：

1、在氣體標(biāo)準(zhǔn)化研究中的應(yīng)用；

2、在氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督和質(zhì)量控制中的應(yīng)用；

3、儀器儀表的校準(zhǔn)與刻度；

4、大氣環(huán)境監(jiān)測離不開標(biāo)準(zhǔn)校正氣體；

5、在醫(yī)療衛(wèi)生、臨床化驗(yàn)中的應(yīng)用；

6、在分析方法的評價方面。

（3）電子工業(yè)用混合氣：

電子工業(yè)用混合氣是指在大規(guī)模集成電路（LSI）、很大規(guī)模集成電路（VLSI）和半導(dǎo)體器件制造中，用于氣相外延生長、化學(xué)氣相淀積、攙雜、蝕刻和離子注入等工藝（工序）的一類特別電子混合氣。主要有外延（生長）混合氣、化學(xué)氣相淀積用混合氣、攙雜混合氣、蝕刻混合氣和其他電子混合氣。

（4）電光源混合氣：

主要用作白熾燈、特種光源燈（如紅外線、強(qiáng)烈溢光燈、熒光燈、發(fā)光信號、太陽燈、臭氧燈、光化學(xué)燈、滅菌燈、紫外線燈、輝光燈、鋯弧光燈、鹵素氣體照明燈等）和數(shù)字顯示管的充填氣。常見品種依其特性劃分為稀有氣體混合氣、重氫混合氣和燈泡氬混合氣。為了延長燈具壽命，配制電光源混合氣用的單元純氣體，其純度要求一般均大于99.99%，并應(yīng)嚴(yán)格控制氧化類雜質(zhì)組分的含量。